Ion bombardment-induced enhancement of the properties of indium tin oxide films prepared by plasma-assisted reactive magnetron sputtering

  1. Dudek, M.
  2. Amassian, A.
  3. Zabeida, O.
  4. Klemberg-Sapieha, J.E.
  5. Martinu, L.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2009

Volumen: 517

Número: 16

Páginas: 4576-4582

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.01.012 GOOGLE SCHOLAR
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