Oxygen incorporation and charge donor activation via subplantation during growth of indium tin oxide films

  1. Amassian, A.
  2. Dudek, M.
  3. Zabeida, O.
  4. Gujrathi, S.C.
  5. Klemberg-Sapieha, J.E.
  6. Martinu, L.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 2009

Volumen: 27

Número: 2

Páginas: 362-366

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.3081970 GOOGLE SCHOLAR
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