Carbon coatings with high concentrations of silicon deposited by RF PECVD method at relatively high self-bias

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Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2017

Volumen: 329

Páginas: 212-217

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2017.09.044 GOOGLE SCHOLAR
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