NCD film as an active gate layer in chemFET structures

  1. Guzdek, T.
  2. Szmidt, J.
  3. Dudek, M.
  4. Niedzielski, P.
Aldizkaria:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Argitalpen urtea: 2004

Alea: 13

Zenbakia: 4-8

Orrialdeak: 1059-1061

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2003.11.100 GOOGLE SCHOLAR