NCD film as an active gate layer in chemFET structures

  1. Guzdek, T.
  2. Szmidt, J.
  3. Dudek, M.
  4. Niedzielski, P.
Revista:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Ano de publicación: 2004

Volume: 13

Número: 4-8

Páxinas: 1059-1061

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2003.11.100 GOOGLE SCHOLAR
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